لایه نشانی بخار شیمیایی پلاسمای مستقیم (DC-PECVD)
کاربرد:
* لایه‌نشانی مواد مختلف برای ریزساخت‌ها (m icrofabrication) در فرم‌های مختلف شامل تک‌کریستال‌ها، پلی‌کریستال‌ها، آمورف و ساختار‌های با رشد هم‌بافته (e pitaxial)
* پوشش‌های مقاوم به سایش و خوردگی بر روی ابزار‌آلات، یاتاقان‌ها و مته‌ها
* نانولولههای کربنی
* تولید ادوات نیمه‌هادی‌ها
معرفی محصول:
لایه‌نشانی شیمیایی بخار (CVD) یکی از مهم‌ترین روش‌های پوشش‌دهی است که امروزه کاربرد‌های آن هم در حوزه صنعتی و هم تحقیقاتی بسیار گسترده شده است. این روش پوشش‌دهی درواقع؛ خود شامل تنوعی از روش‌ها و دستگاه‌ها می‌شود که همگی در چند ویژگی همانند عمل می‌کنند. این ویژگی‌های مشترک شامل موارد فوق است: استفاده از یک مخلوط گازی به‌عنوان پیش ماده پوشش یا محصول نهایی (محصول نهایی می‌تواند کاربرد پوششی نداشته باشد، مثل نانولولههای کربنی)، استفاده از پلاسما یا چشمه حرارتی برای تشویق انجام واکنش‌ها بین گونه‌های گازی و نهایتاً آماده‌سازی شرایط برای رسوب محصولات بر روی یک زیرلایه. چشمه حرارتی می‌تواند فیلمان حرارتی، امواج مایکروویو و یا تخلیه الکتریکی باشد.
لایه‌نشانی شیمیایی از فاز بخار پلاسمایی (PECVD) نوعی فرآیند CVD است که حضور محیط پلاسما همه فرآیندهای CVD را تحت تأثیر قرار می‌دهد و سرعت و بازدهی انجام واکنش‌های مرتبط را در دما‌های به‌نسبت پایین‌تر (نسبت به استفاده از فرآیند CVD بدون حضور پلاسما) افزایش و ارتقا می‌دهد. این روش اغلب برای تولید نانولولههای کربنی استفاده می‌شود.
مشخصات فنی:
|
مدل دستگاه |
DC-PECVD |
|
تعداد کوره‌ها |
دارای دو کوره به قطر ۸۰ میلی‌متر به طول ۸۰ سانتی‌متر |
|
بیشینه دمای منطقه حرارتی |
۷۵۰ درجه سانتی‌گراد |
|
میزان خلأ |
۰.۰۵ تور |
|
رآکتور |
کوارتز |
|
منبع تغذیه |
منبع ولتاژ مستقیم تا ۱۰۰۰ ولت و ۱۰۰ میلی‌آمپر |
|
کنترل‌کننده جریان گاز |
دارای دو کنترل‌کننده جریان شار گازهای استیلن و هیدروژن |
|
ابعاد دستگاه |
۱۶۰ × ۱۸۰ × ۱۴۰ سانتی‌متر |
| شرکت | |
|---|---|
| نوع | این محصول، تجهیز نهایی با ماهیت B2B است. |
محصولات مرتبط
کاربرد:
اندازه‌گیری سختی فلزات به روش‌های راکول، راکول سوپرفشیال (مستقیم) ویکرز و برینل (غیرمستقیم)
کاربرد:
اندازه‌گیری سطح ویژه و تخلخل در بسیاری از کاربردها مانند کاتالیست‌ها، نانو جاذب‌ها، ترکیبات و افزودنی‌ها، مواد دارویی و صنایع غذایی و همچنین در نانو ساختارهایی نظیر نانوذرات فلزی، نانولوله‌ها، نانوالیاف و غیره از اهمیت بالایی برخوردار است.
کاربرد:
برخی از کاربرد‌های کاتالیستی عبارت‌اند از:
* هیدرو کراکینگ، هیدرو دی‌سولفوریزیشن و هیدرو دی‌نیتروژنیشن
* سنتز فیشر-تروپش
* ایزومریزیشن
* ریفرمینگ
* سنتز فیشر – تروپش
* کراگینگ و پیل سوختی
کاربرد:
* اندازه‌گیری پارامترهایی مانند تغییر در جرم، دمای انتقال کریستاله به شیشه‌ای، دمای تجزیه شیمیایی، پایداری حرارتی، پایداری اکسیداسیونی، آنتالپی، گرمای ویژه و نمودارهای فازی
* آنالیز حرارتی نمونه‌های پودری و یا قطعات بسیار کوچک فلزی و غیرفلزی (در اتمسفر هوا و یا گازهای بی‌اثر)
* مطالعه حالت‌های کاتالیستی، واکنش‌های تجزیه و سرعت واکنش‌ها
* مطالعه پلیمریزاسیون مواد آلی
* مشخصه‌یابی واکنش‌های ذوب و انجماد و تبخیر و تصعید
* مطالعه پیرولیز زغال سنگ، چوب و مشتقات نفتی
* تعیین مقدار رطوبت، مواد فرار و خاکستر مواد مختلف
کاربرد:
اندازه‌گیری سرعت خطی و جابه‌جایی دستگاه‌های کشش و دستگاه‌های مشابه
کاربرد:
* آزمون کشش عمیق در رفتار فلزات به روش سویفت (Cupping test) جهت مطالعه عمق فنجانی شدن و نیز پدیده گوشواره‌ای شدن (Earring)
* آزمون کشش دو محوری و یا اتساع به روش اریکسون جهت تعیین ارتفاع حدی (LDH) و نیز ترسیم دیاگرام‌های حد شکل‌پذیری (FLD)
* انجام تست گرم Hot Forming بر روی ورق‌های مختلف
* کنترل مواد اولیه قبل از تولید
* کمک به طراحی یا محاسبات دقیق‌تر با توجه به شرایط کار شبیه‌سازی شده
* تحقیق و توسعه در زمینه ورق‌های فلزی
کاربرد:
* رسم نمودار ایزوترم جذب برای مواد
* تعیین سطح ویژه BET مواد به صورت تک نقطه‌ای و چندنقطه‌ای
* بررسی میکرو حفرات از روش Langmuir
* بررسی سطوح خارجی مواد از روش T-Plot
* بررسی توزیع اندازه حفرات از روش BJH
* بررسی میزان جذب فیزیکی مواد
کاربرد:
* انجام تست رهایش (Relaxation) جهت PC WIRE در شرایط محیط با درجه حرارت C° ۲ + ۲۰
* آزمایش برای انتخاب مواد با قابلیت بالاتر تحت شرایط کرنش‌های دائمی مانند کلاف
* سیم‌های پیش‌تنیده PC Wire & PC Strand
* تعیین و ارزیابی تست رهایش بروی فلزات مختلف
* کمک به طراحی یا محاسبات دقیق‌تر با توجه به شرایط کار شبیه‌سازی‌شده
* تحقیق و توسعه در زمینه فولادهای استحکام بالا
* کنترل کیفی و تولید
کاربرد:
انجام تست‌های سختی دینامیک و تست عملکرد، تست کششی و فشاری و کنترلی، شبیه‌سازی مکانیزم‌های حرکتی در قطعات، انجام تست‌های خستگی بروی مواد مختلف با تعداد چرخ‌های زیاد، تست قطعات فولادی، کامپوزیتی، غیر آهنی، بتن، آسفالت، فنر، کمک فنر، قطعات هواپیما و هلی‌کوپتر، اتومبیل و …
کاربرد:
* اسپری خشک‌کن
* لایه نشانی لایه نازک ترکیبات مختلف از قبیل اکسیدها و سولفیدها و …
* افزایش آب‌دوستی سطح
* رشد لایه‌های اکسیدی روی ویفر سیلیکون
* تمیز‌کردن زیرلایه‌ها
* قابلیت تبدیل به کوره برای پخت لایه‌های نازک
کاربرد:
* بررسی شکست در فلزات ناشی از بارهای لحظه‌ای تحت شرایط دمای محیط و شرایط محیطی خاص
* بررسی کیفی مواد اولیه و قطعات ساخته شده، تحقیق و مناسب برای کنترل پژوهش
کاربرد:
اندازه‌گیری هدایت حرارتی مواد جامد با ضریب هدایت حرارتی بسیار پایین