ماژول همترازی ۵ درجه آزادی

کاربرد:

الاینمنت و هم‌ترازی ماسک و زیرلایه در ساخت ادوات MEMS، میکرو و نانو، کاربرد در اندازه‌گیری‌های دقیق، متالورژیکی، مطالعه و عکس‌برداری زیر میکروسکوپ


Certified ByTrust

معرفی محصول:

الاینمنت ماسک بر روی ویفر در پروسه‌هایی که نیازمند بیش از یک مرحله لیتوگرافی بوده و یا بر روی تکه‌های دایس شده ویفر انجام می‌شوند دارای اهمیت خاصی است. استفاده از دستگاه‌های ماسک الاینر به‌دلیل قیمت بالای آن‌ها برای کار‌های آزمایشگاهی ارزان قیمت چندان به‌صرفه نبوده و اکثراً توجیه‌پذیر نیست. ماژول الاینمنت پیشنهادی در چنین مواردی یک مجموعه قابل حمل است که قابلیت قرار‌گیری زیر میکروسکوپ را داشته و همچنین می‌توان آن را در داخل دستگاه اکسپوژر UV قرار داد.

مشخصات فنی:

* حرکت دادن ماژول‌های ۵ درجه به کمک جوی استیک

* قابلیت گیرش ماسک و زیرلایه به کمک خلأ

* قابلیت انتخاب زیرلایه با ابعاد مختلف

* موقعیت‌دهی دقیق ویفر بر روی صفحه زیرین ماسک شیشه‌ای یا طلقی

* بدنه تمام آلومینیومی با پوشش سخت آندایز

* ابعاد میز دو درجه زیرین برحسب میلی‌متر: ۳۰۰L × ۳۰۰W × ۸۰H

* ابعاد میز سه درجه هم‌تراز کننده برحسب میلی‌متر: ۲۰۰L × ۲۰۰W × ۸۰H

* پایه‌های قابل تنظیم به‌منظور تراز نمودن سطح دستگاه

مزایای رقابتی:

* ضمانت ۱ ساله

* ۵ سال خدمات پس از فروش

شرکت

نوع

این محصول، تجهیز نهایی با ماهیت B2B است.

دسته‌بندی‌ها
My Cart
Categories