ماژول همترازی ۵ درجه آزادی
کاربرد:
الاینمنت و همترازی ماسک و زیرلایه در ساخت ادوات MEMS، میکرو و نانو، کاربرد در اندازهگیریهای دقیق، متالورژیکی، مطالعه و عکسبرداری زیر میکروسکوپ
معرفی محصول:
الاینمنت ماسک بر روی ویفر در پروسههایی که نیازمند بیش از یک مرحله لیتوگرافی بوده و یا بر روی تکههای دایس شده ویفر انجام میشوند دارای اهمیت خاصی است. استفاده از دستگاههای ماسک الاینر بهدلیل قیمت بالای آنها برای کارهای آزمایشگاهی ارزان قیمت چندان بهصرفه نبوده و اکثراً توجیهپذیر نیست. ماژول الاینمنت پیشنهادی در چنین مواردی یک مجموعه قابل حمل است که قابلیت قرارگیری زیر میکروسکوپ را داشته و همچنین میتوان آن را در داخل دستگاه اکسپوژر UV قرار داد.
مشخصات فنی:
* حرکت دادن ماژولهای ۵ درجه به کمک جوی استیک
* قابلیت گیرش ماسک و زیرلایه به کمک خلأ
* قابلیت انتخاب زیرلایه با ابعاد مختلف
* موقعیتدهی دقیق ویفر بر روی صفحه زیرین ماسک شیشهای یا طلقی
* بدنه تمام آلومینیومی با پوشش سخت آندایز
* ابعاد میز دو درجه زیرین برحسب میلیمتر: ۳۰۰L × ۳۰۰W × ۸۰H
* ابعاد میز سه درجه همتراز کننده برحسب میلیمتر: ۲۰۰L × ۲۰۰W × ۸۰H
* پایههای قابل تنظیم بهمنظور تراز نمودن سطح دستگاه
مزایای رقابتی:
* ضمانت ۱ ساله
* ۵ سال خدمات پس از فروش
شرکت | |
---|---|
نوع | این محصول، تجهیز نهایی با ماهیت B2B است. |