سیستم لیتوگرافی مسک الاینر موتورایز دو طرفه
کاربرد:
ساخت حسگرهای MEMS، میکروفلوئیدیک، تراشههای نمونه برداری LAB on Chip، میکروالکترونیک و ساخت تراشههای الکترونیکی و …
معرفی محصول:
سیستم مسک الاینر به منظور لیتوگرافی مواد فوتورزیستی در چند مرحله مورد استفاده قرار میگیرد. از جمله کاربردهای این دستگاه میتوان به زمینههایی مانند میکروفلوئیدیک، ساخت حسگرهای MEMS & NEMS، میکروالکترونیک، فیزیک و … اشاره نمود. این سیستم با قابلیت حرکت استیج در ۴ محور با دقت بالا امکان الاینکردن زیرلایه را با ماسک فراهم آورده و همچنین میتوان با استفاده از ولوم میزان حداقل جابجایی استیجها را تنظیم نمود؛ همچنین با استفاده از یک جوی استیک دیگر میتوان حرکت دو درجه دوربین را روی ماسک داشت که میتوان برای الاینکردن مارکاژها از آن استفاده نمود. این سیستم با بهکارگیری فیلتر و هود هپا امکان ایجاد اتاق تمیز بدون قرارگیری در داخل اتاق تمیز را فراهم ساخته و با بدنه کاملاً استیل قابلیت بهکارگیری داخل اتاق تمیز را ارتقا میدهد.
مشخصات فنی:
نمایش |
۷ اینچ HMI |
مکانیسم تراز |
محور موتوری X ،Y،Z و θ |
روش بازرسی |
میکروسکوپ موتوری X ،Y |
منبع نور |
الایدی تک رنگ ۳۶۵ نانومتری |
زیرلایه و نگهدارنده ماسک |
″۴ و ″۵ |
محدوده شدت نور |
تا ۸ میلیوات بر سانتیمترمربع |
مزایای رقابتی:
* کاربری آسان
* یک سیستم عالی برای آزمایشگاهها و تولیدات کم حجم
* ضمانت ۱ ساله
* ۵ سال خدمات پس از فروش
شرکت | |
---|---|
نوع | این محصول، تجهیز نهایی با ماهیت B2B است. |