سیستم لیتوگرافی صنعتی ایستاده با سیستم الاینر موتورایز
کاربرد:
لیتوگرافی و انتقال الگو بر روی مواد فوتورزیست، ایجاد الگو بر روی لایههای ضخیم، ساخت میکرو کانالها، ادوات میکروالکترونیکی، میکرو حسگرها، MEMS، نانوسنسورها، میکروفلوئیدیک
معرفی محصول:
لیتوگرافی یکی از بهترین روشها جهت انتقال الگو از ماسک به سطح زیرلایه میباشد. در ساخت ادوات میکرو و یا نانو در برخی مواقع نیاز است که چندین لایه بر روی یک زیرلایه اضافه و یا حذف گردد. سیستم لیتوگرافی با ماژول حرکتی ۵ درجه آزادی زیرلایه و دوربین نسبت به ماسک این امکان را فراهم میآورد. در این سیستم پس از همتراز کردن ماسک نسبت به زیرلایه توسط ماژول، نوردهی کنترلشده بر روی ماده حساس به نور صورت میگیرد.
مشخصات فنی:
* نور UV تک طول موج ۳۶۵ نانومتر
* شدت نور UV حداکثر ۷ میلیوات بر سانتیمتر مربع بر روی قطر ۱۰ سانتیمتر
* شدت نور یکنواخت با دقت ۱۵ درصد روی قطر ۱۰ سانتیمتر
* سیستم نوردهی موازی با دقت بالا ۵ درجه در فاصله ۵ سانتیمتر
* تابش نور به دو حالت شدت ثابت به صورت درصدی از Full Power یا پالسی PWM
* تنظیم زمان و شدت UV در سیستم نوردهی
* قابلیت انتخاب زیر لایه با ابعاد مختلف
* جابهجایی دوربین در محدوده ۱۵+ سانتیمتر
* موقعیتدهی دقیق ویفر نسبت به ماسک
* جابهجایی به صورت بسیار نرم با رزولوشن ۰.۲ میکرومتر و دقت ۱ میکرون
* رزولوشن حرکتی چرخشی زیرلایه ۰۱۸/۰ درجه
* دقت چرخشی زیر لایه ۳۶/۰ درجه
* نمایش موقعیت ماسک و زیرلایه و بازرسی نمونه به کمک میکروسکوپ دیجیتال حرکت بدون لقی (Zero Backlash) در راستای محورهای XYZ
مزایای رقابتی:
* نمایش سرعت و موقعیت نسبی نسبت به محل مشخص شده
* نمایش موقعیت ماسک و زیرلایه و بازرسی نمونه به کمک میکروسکوپ دیجیتال
* ضمانت ۱ ساله
* ۵ سال خدمات پس از فروش
شرکت | |
---|---|
نوع | این محصول، تجهیز نهایی با ماهیت B2B است. |