آزمایشگاه لیتوگرافی پایلوت

کاربرد:

اچینگ مرطوب، لیتوگرافی ساختار‌های میکرو و نانو، میکرو الکترونیک، مهندسی پزشکی، آزمایشگاه نیمه‌هادی، فیزیک و نانو


Certified ByTrust

معرفی محصول:

آزمایشگاه لیتوگرافی کوچک از جمله تجهیزات آزمایشگاهی است که با ترکیب تجهیزات و دستگاه‌های مورد نیاز برای انجام فرآیند لیتوگرافی امکان انجام فرآیند‌هایی همچون پوشش‌دهی دورانی (اسپین کوتینگ)، پیش پخت (Prebake)، پس پخت (Post bake)، لیتوگرافی تماسی (Exposure)، استریپ‌کردن (Strip) و حتى زدایش و اچینگ فراهم می‌گردد.

مشخصات فنی:

* ماژول اسپین کوتر تفلونی نصب‌شده بر روی میز دستگاه (Spin Coater)

* کاسه و محفظه ضد اسید و قابل شستشو برای شستشوی مواد اضافی

* صفحه کاملاً لمسی با قلم مخصوص با امکان اعمال پروفیل سرعتی متشکل از ۸ بخش

* هم‌مرکز کردن مرکز ویفر با مرکز کارگیر با دقت بالا با استفاده از الاینر

* امکان تعیین شتاب افزایش و یا کاهش سرعت تا میزان Rpm/Sec ۴۵۰

* خروجی فاضلاب مواد شوینده

* ورودی برای تزریق گاز خشی به محفظه و خنثی کردن محفظه پوشش‌دهی

* ماژول اکسپوژر یا لیتوگرافی تماسی ماوراء بنفش (UV Contact Lithography)

* صفحه‌نمایش کاملاً لمسی با قلم مخصوص

* سیستم صفحه گرم‌شونده (Hotplate) تا دمای ۱۵۰ درجه

* سیستم لامپ UV با طول موج ثابت ۳۶۵ یا ۴۰۲ نانومتر

* تنظیم شدت نور لامپ‌ها در ۱۰ پله مجزا

* سیستم گرمایش و کنترل دمای محلول تا دمای ۶۰ درجه سانتی‌گراد

* تایمر کنترل زمان گرما‌دهی به محلول

مزایای رقابتی:

* نمایشگر دمای سلول با قابلیت کنترل دما به صورت دستی

* موقعیت‌دهی دقیق ویفر بر روی صفحه زیرین ماسک شیشه‌ای یا طلقی با صفحه زیرین کاملاً استیل

* امکان توقف پروسه نور‌دهی و تغییر شدت نور در بین پروسه

* ماژول مخزن ذخیره و گرم‌کننده سیال

* بدنه ضد اسید کاملاً مقاوم در برابر حلال‌ها

* مکش از پشت و بالای سلول‌ها به کمک فن قوی تعبیه شده بالای دستگاه

* درب بالای سلول برای جلوگیری از تبخیر آب محلول‌ها

* نمایش پروفیل سرعت دورانی به صورت آنلاین بر روی صفحه دستگاه به همراه ذخیره برنامه‌های پرکاربرد و فراخوانی مجدد جهت استفاده

* امکان کنترل فرآیند به دو صورت دستی و خودکار تا سرعت دورانی ۵۰۰۰ دور در دقیقه

* صفحه گردنده آلومینیومی آندایز شده برای ویفر ۴ اینچی، ۶ اینچی و بالا بر حسب درخواست

* ضمانت ۱ ساله

* ۵ سال خدمات پس از فروش

شرکت

نوع

این محصول، تجهیز نهایی با ماهیت B2B است.

دسته‌بندی‌ها
My Cart
Categories