معرفی محصول:
لیتوگرافی یکی از بهترین روشها جهت انتقال الگو از ماسک به سطح زیرلایه میباشد. در ساخت ادوات میکرو و یا نانو در برخی مواقع نیاز است که چندین لایه بر روی یک زیرلایه اضافه و یا حذف گردد. سیستم لیتوگرافی با ماژول حرکتی ۵ درجه آزادی زیرلایه و دوربین نسبت به ماسک این امکان را فراهم میآورد. در این سیستم پس از همتراز کردن ماسک نسبت به زیرلایه توسط ماژول، نوردهی کنترل شده بر روی ماده حساس به نور صورت میگیرد.
مشخصات فنی:
* بدنه ترکیبی استیل و آلومینیوم آندایز شده
* لیتوگرافی ویفر کامل و دایس شده ورود و نمایش اطلاعات به کمک صفحهنمایش لمسی
* لامپ مخصوص با شدت نور یکنواخت
* نور UV تک طول موج ۳۷۵ یا ۴۲۰ نانومتر با شدتهای ۱ تا ۵ میلیوات بر سانتیمتر مربع
* تنظیم زمان و شدت UV در سیستم نوردهی
شرکت | |
---|---|
نوع | این محصول، تجهیز نهایی با ماهیت B2B است. |