معرفی محصول:
آزمایشگاه MEMS ازجمله دستگاههای جدید است که به صورت همزمان و در محیطی کاملاً ایمن امکان پوششدهی ویفر یا زیرلایه و همچنین شستشو، اچینگ و لیتوگرافی را در داخل یک مجموعه به صورت منسجم جهت ساخت سیستمها برپایه چند مرحله لیتوگرافی فراهم میسازد. این مجموعه با نصب اسپین کوتر در داخل یک مجموعه ضد اسید امکان پوششدهی دورانی، امکان استریپ کردن فوتورزیست و یا اچکردن کنترلشده را فراهم میسازد. همچنین به کمک سیستم لیتوگرافی با همترازکننده ماسک در داخل مجموعهای با میز تمیز، چندین مرحله لیتوگرافی بر روی یک زیرلایه نیز امکانپذیر میباشد.
مشخصات فنی:
* اسپین کوتر با قابلیت شستشو به صورت ادغام شده در مجموعه
* ذخیره و اعمال پروفیل سرعتی متشکل از ۱۲ بخش
* امکان پوششدهی به دو صورت دستی و خودکار و قابلیت نمایش آنلاین پروفیل سرعت بر روی صفحه
* امکان ایجاد سرعت دورانی تا ۵۰۰۰ دور بر دقیقه
* ورود اطلاعات و نمایش بر روی صفحه LCD لمسی
* تزریق گاز خنثی به داخل محفظه و قابلیت کار با ویفر تا ۶ اینچ
* سینک ضد اسید برای شستشو
* مکش از پشت و بالای سلولها
* سیستم گرمایش و کنترل دمای محلول
* تایمر کنترل زمان گرمادهی به محلول
* تأمین نور ۳۷۵ یا ۴۲۰ نانومتر
* همتراز کردن زیرلایه نسبت به ماسک جدید
* قابلیت تنظیم مدتزمان نوردهی
* نمایش ماسک و زیرلایه توسط میکروسکوپ دیجیتال
مزایای رقابتی:
* دارای ضمانت ۱ سال
* ۵ سال خدمات پس از فروش
شرکت | |
---|---|
نوع | این محصول، تجهیز نهایی با ماهیت B2B است. |