معرفی محصول:
تولید ادوات میکرونی نیازمند مجموعهای از تجهیزات است که بتوان کلیه فرآیندهای مورد نیاز برای تولید را در یک خط انجام داد. مجموعه حاضر امکان انجام تمامی عملیاتها از جمله آمادهسازی نمونه، لیتوگرافی، پوششدهی، اچینگ و باندینگ را برای کاربر فراهم میسازد. این محصول دارای چهار مجموعه برای پوششدهی دورانی، عملیات پس از پوششدهی، اچینگ محدود، اچینگ کنترل شده با زمان، سیستم اتوماتیک خروج از محلول اچینگ و شستشو، رک مخصوص فشار مثبت بهمنظور لیتوگرافی، سیستم لیتوگرافی کامل موتورایز پنج درجه آزادی به همراه میکروسکوپ دیجیتال و سیستم تزریق کنترلشده برای تست مجموعههای ساخته شده میباشد.
مشخصات فنی:
* کاسه و محفظه ضد اسید و قابل شستشو برای شستشوی مواد اضافی
* صفحه کاملاً لمسی ۵ اینچ
* امکان ایجاد سرعت دورانی تا ۶۰۰۰ دور در دقیقه
* امکان تعیین شتاب افزایش و یا کاهش سرعت از ۱ تا Rpm/Sec ۳۵۰
* جابهجایی ۴ درجه XYZ θ استیج اصلی دستگاه
* جابهجایی استیج در محدوده ۱۰± میلیمتر در راستای محور XYZ
* چرخش نمونهگیر در محدوده ۲۰± درجه
* رزولوشن حرکتی زیرلایه ۲۰۰ نانومتر
* دقت حرکتی زیرلایه ۱ میکرومتر
* رزولوشن حرکتی چرخشی زیرلایه ۰۱۸/۰ درجه
* دقت چرخشی زیرلایه ۰۳۶/۰ درجه
* ابعاد اصلی دستگاه به سانتیمتر H۱۹۰ × W۷۵ × L۱۲۴
مزایای رقابتی:
* دارای ضمانت ۱ سال
* ۵ سال خدمات پس از فروش
شرکت | |
---|---|
نوع | این محصول، تجهیز نهایی با ماهیت B2B است. |